簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Evaporation.".ekeyword (精準) and cadvisor.raw="趙振綱"


  • 在搜尋的結果範圍內查詢: 搜尋 展開檢索結果的年代分布圖

  • 個人化服務

    我的檢索策略

  • 排序:

      
  • 已勾選0筆資料


      本頁全選

    1

    碲化鉍合金熱電薄膜發電器之設計與製造
    • 機械工程系 /97/ 碩士
    • 研究生: 吳奕諼 指導教授: 趙振綱
    • 熱電薄膜發電器乃利用熱電效應,將溫度差轉為電能輸出。熱電薄膜發電器主要用微機電製程,利用熱蒸鍍沉積熱電薄膜並以濺鍍沉積鋁橋。量測方式以溫控式加熱器給予熱源,經由Agilent 34970A資料蒐集交…
    • 點閱:221下載:16

    2

    沈積鈦薄膜於矽晶圓基材與氧化銦錫薄膜於撓性基材之殘留應力分析
    • 機械工程系 /99/ 博士
    • 研究生: 莊晉東 指導教授: 趙振綱 張瑞慶
    • 本文探討鈦(Ti)薄膜及氧化銦錫(Indium tin oxide, ITO)薄膜沈積於不同基材的殘留應力。鈦以電子束蒸鍍及射頻濺鍍製程沈積200nm厚度薄膜於矽晶圓基材表面上;氧化銦錫以射頻濺鍍製…
    • 點閱:412下載:6
    1