檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Evaporation.".ekeyword (精準) and cadvisor.raw="趙振綱"
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熱電薄膜發電器乃利用熱電效應,將溫度差轉為電能輸出。熱電薄膜發電器主要用微機電製程,利用熱蒸鍍沉積熱電薄膜並以濺鍍沉積鋁橋。量測方式以溫控式加熱器給予熱源,經由Agilent 34970A資料蒐集交…
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本文探討鈦(Ti)薄膜及氧化銦錫(Indium tin oxide, ITO)薄膜沈積於不同基材的殘留應力。鈦以電子束蒸鍍及射頻濺鍍製程沈積200nm厚度薄膜於矽晶圓基材表面上;氧化銦錫以射頻濺鍍製…